電鏡電極真空系統(tǒng)中，需要經(jīng)常檢查機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵和油擴(kuò)散泵的油面，一旦發(fā)現(xiàn)油面下降應(yīng)及時(shí)加油。旋轉(zhuǎn)泵若缺油不僅會(huì)磨壞軸套上的油封圈，而且對(duì)旋片端頭和內(nèi)腔壁也可能會(huì)造成損傷，使極限真空度下降。用真空計(jì)檢查真空度是必要的，但是隨著真空系統(tǒng)的自動(dòng)化，有的電鏡為了降低成本，把某些真空計(jì)也省略掉了。

　　電鏡電極維護(hù)和保養(yǎng)的措施：

　　1.在正常的偏置電壓和發(fā)射電流下工作，若燈絲的壽命變得越來越短，這很可能是真空度已變差，改善的辦法是檢查各部件的運(yùn)行情況，采取有針對(duì)性的措施進(jìn)行解決，如檢查真空系統(tǒng)的連接部位是否松動(dòng)？查明原因，有的放矢，盡量提高電鏡真空系統(tǒng)的真空度。

　　2.若電子槍、襯管、光欄和樣品倉等部位的污染加快、加重，則意味著冷卻循環(huán)水的冷卻效果變差，有可能是冷卻水的壓力下降、水溫上升或管道內(nèi)水垢增厚，這些都會(huì)導(dǎo)致制冷效果不良。此時(shí)要采取相應(yīng)的解決辦法，如調(diào)高循環(huán)水的壓力或調(diào)低水溫、排除循環(huán)水通道中的堵塞滅清斷卻管道中的水鮮相應(yīng)措施。

　　3.及時(shí)排出空壓機(jī)巾隨水，那不同實(shí)驗(yàn)室環(huán)境難的大小，以及用氣量多少的不同，—般在南方地區(qū)春季約4?5周、夏季約6?7周、秋、冬季約8?9周排水一次。

　　電鏡電極在出廠的時(shí)候已經(jīng)被拋光處理過，可直接使用。但通常我們?cè)谠谶M(jìn)行實(shí)驗(yàn)前重新將其表面拋光。通常，0.05微米氧化鋁用來拋光。然而，當(dāng)你發(fā)現(xiàn)在電極上有劃痕時(shí)，你需要依次使用1.0，0.3和0.05微米氧化鋁來對(duì)電極進(jìn)行拋光。每一步拋光后，查看電極表面，應(yīng)該是均衡的。